【光刻機有多大】
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根據情況而定 。光刻機大小分為臺式、小型、中型和大型四種 。臺式適用于微型元器件，重量不到幾十公斤 。小型適用于生產更復雜的微型元器件，尺寸從1平方米到5平方米不等，重量在百公斤級別 。中型適用于制造大型元器件，尺寸從5平方米到20平方米不等 ， 重量在數百公斤級別 。大型適用于大尺寸芯片和顯示器件的制造 ， 尺寸超過20平方米，重量在數百公斤至數噸之間 。
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