晶圓上的模具標記是什么


晶圓上的模具標記是什么

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【晶圓上的模具標記是什么】晶圓上的模具標記是為了區分各個晶圓 , 利用激光轟擊晶圓,在晶圓表面上形成晶圓標記 。以用于在各片晶圓之間進行區分,通過不同的晶圓標記識別不同的晶圓 。標準的晶圓標記,是在晶圓表面向下形成圓形形狀的凹坑,并且凹坑的邊緣會由于激光能量的作用在晶圓表面形成向上的凸起 。晶圓標記的監控方法,主要是通過掃描晶圓標記的波形信號,量測晶圓標記對應波形信號的峰值和谷值,從而監控激光能量大?。俏薹ㄈ范ňг脖曇塹男巫匆約骯飴販轎皇欠褚斐?。